方叶为了
打击研究员

,便
:“设备
研制取得了极
成功,
值得庆贺
。”
就见方叶继续
:“
过还有一些
题
解决,一
刻蚀
度
小
20微米,并且
均匀、
有
显
波峰
现,最
测
度尺寸;
锯齿
题
极力缩
最小,最
一
倍
显微镜
检测
有
显
锯齿状;
机
需
改
,将
些盖板

全
整合
一起,方便
作。”
唐研究员拿起记事
,将
题记了
来,方叶为了方便解释,便来
黑板前,画
了线路锯齿状和蚀刻线槽断面截图,
解释了起来:“找
锯齿状
原因,
因为菲林片
题,还
曝光
题,然
加
解决。”
“
线槽
为

平坦,原因也
复杂,
断面
现
低起伏
波峰,
镀铜
,线路



现
状起伏,甚
空
,影响电
传输。”
唐研究员思考了一

:“第一
题,菲林片
影响
较
,
现
菲林
工制造
。”
方叶从机
里拿
菲林片,然
又放
了显微镜
了起来,字

缘坑坑洼洼,便
:“
怎
制作
菲林?”唐研究员
:“先
菲林
涂
黑
遮光材料,然
由
工雕刻
所需字
。”
方叶

呼了一
,思考了起来,现


代,没有计算机制版,没有紫外光复印机,确实
靠
工来雕刻菲林,

里,
便



:“菲林
题成立一
专项,无论
遮光、显
、透光
材料
研究,还
雕刻
才和工
,全

专项研究。”
1955
,
国
贝尔实验室就
经

菲林集成电路刻蚀
实验了,
采用
也
华为研究院
样
方法,
第一代
密菲林片
电路刻蚀,就
由技术工程师,
显微镜
工完成
。
每块电路
线宽、间距、功
实现,全
依赖
工完成,
仅需
通
级电路,还需
有极
赋
雕刻技
,
样
目前
国

容易找。
方叶将


求都讲了
来,

夏博士
:“研究院
,
全国专科、
科
学
找
才,

机电或电
学系找
些
格沉稳,电路图又画得极

才,找
了就申请调
华为来,

招一些,


班,


,专门学习画微型电路图。”
“需

经费,
算一算报
来,
让集团
款。”方叶最

。
夏博士
了

:“
些
类
研究都有基础,
了
钱,一
万足够了。”
“
,没
题。”方叶回答得
脆。

夏博士
:“董事
,

将胡老先
请来,其实还有另一
事。”
方叶示意
继续,就见夏博士
:“
现有
研究成
,
完全
研制
一台紫外光复印机
来,
样光刻项目
经费,也就
一
依赖集团
款了。”
方叶
了

:“紫外光复印机

搞,现
用
都
静电复印机,紫外光复印最

题
复印转移技术,
静电复印机使用硒鼓
,
现


也
用
菲林胶片曝光。“夏博士
了
,
过却

:“唐研究员懂机械,
有
主意,还
请
来
吧。”
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