粟
赶
打
记事
,将方叶
话给记了
来,笔尖刷过纸张发
哗哗
声,
一
,便抬起
来
:“
半导
红外光制造
成
仪
外国
何?”方叶
了
回
:“


现
就搞
来,
先

,
过
里还有一
技术需
解决。”
“
技术?”粟
连忙
。
“集成电路。”方叶
:“老式电
无法


发挥
锗半导
红外光,集成电路
最
方案,目前
方面,
国
领先
国—丢丢,



加
投
话,
国
快
赶
来。”
“制约集成电路发展
关键

?”“硅晶
”、“硅工业!”方叶
副

乎
脱

。
粟
抬

议桌
沉沉一拍,
沉声


:“
集成电路
须加
投
。”
赵
则
:“
参谋
志,目前

硅厂正
建设,
投
产,并制造
来,估计


底或者57
。”
“唉~一步
,步步
。”粟
微微叹了
,

次华昌考察
最
收获,哪便

国防科技发展
悟,此刻
,
其实
焦急
,国外
科技
断涌现,
国
现
各项事业虽然取得了
足
步,


数领域
研究,
乎都
空
状态,怎

让


急呢。
方叶见粟
此,便
:“
将
志,您

急,
也
都


,就

led锗半导
研制就
国外快,集成电路也
,
硅单晶,其实华昌研究院也
搞。”
“
有搞
?”粟
目一睁,顿
惊喜

。方叶
了
:“53
,华昌研究院,搞来了硅单晶炉,现
一
研究单晶
成工艺,就
一
没
解决批量制造
题,搞一些研究用途
单晶还
成
题
。”
“
设备
研究院里吗?”“
,就
楼
,

前
过
。”方叶回
。“




。”粟
急切

。

一
,随即
了楼,又
次来
了研究院里,
楼
半导
研究所里,一台
式单晶炉赫然立
里,研究员
正
调整研究
方,
成
单晶
研究品,则摆
了
品柜里,



成型。
方叶介绍
:“硅单晶
成硅
,
将硅
切成硅圆片,
间有许
工艺难题需
克服,
切片、打磨、清洗、蚀刻等等。”
方叶继续解
:“切片目前
方案
机械切割,
过
刀
和机

度
求极
,其
表面
平整度微差
控制
微米级,

切割机械目前全世界都没有,需



研制,
打磨,由
硅单晶片

脆弱,稍加外力即破碎,因此打磨工艺
复杂。”
“首先需
一块极平整
托盘,将硅晶片放置
面,其
用
细度
刚石混合
机


打磨,
才
第一步,
面还

腐蚀,将表面打磨
细纹
理掉,
现
工艺,表面
度控制
5微米就
经
峰了。”
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